日前，由上海電氣集團股份有限公司(簡稱“上海電氣”)下屬上海微電子裝備(集團)股份有限公司自主研發的具有世界先進水平的首臺平板顯示6代投影曝光機正式發運。這對我國的平板顯示制造產業及裝備產業發展都有重大意義。

長期以來，我國平板顯示制造的中高端設備主要依靠進口，特別是投影曝光機。全球僅日本的尼康公司和佳能公司掌握了這一技術。上微6代投影曝光機的成功開發，將徹底打破這一現狀。

應用于平板顯示制造的投影曝光機極為復雜。該產品需要在1500mm×1850mm的區域內制作只有五十分之一頭發直徑的線條，且每根線條的位置精度要控制在一百五十分之一頭發直徑以內。上微用系統工程管理思想和方法來組織推進投影曝光機項目實施，堅持用產品化、工程化思想來進行產品研發，成功突破了投影曝光機的系統多、技術復雜性強、專利壁壘多等難題，成為全球第三家具備量產6代投影曝光機能力的公司，有力提升了我國高精密零件制造能力。